检测基片转速装置

实用新型专利无效专利

申请号：
CN200920126839.4
IPC分类号：G01P3/00;G01P3/42
申请日期：
2009-03-30
申请人：
谢鲜武

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著录项信息

专利名称	检测基片转速装置
申请号	CN200920126839.4	申请日期	2009-03-30
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01P3/00 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01P 线速度或角速度、加速度、减速度或冲击的测量；运动的存在或不存在的指示；运动的方向的指示（利用陀螺效应测量角速率入G01C 19/00；用于测量两个或多个运动变量的组合测量设备入G01C 23/00；声速测量入G01H 5/00；光速测量入G01J 7/00；通过无线电波或其他波的反射或再辐射，且基于传播效应（例如多普勒效应）、传播时间或传播方向来测量固体物体的方向或速度入G01S；核辐射速度的测量入G01T） G01P3/00 线速度或角速度的测量；线速度或角速度差值的测量（G01P 5/00至G01P 11/00优先；利用陀螺效应测量角速率入G01C 19/00）	IPC分类号	G;0;1;P;3;/;0;0;;;G;0;1;P;3;/;4;2查看分类表>
申请人	谢鲜武	申请人地址	重庆市渝北区龙山路64号5幢2单元13-4 变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	谢鲜武	当前权利人	谢鲜武
发明人	谢鲜武
代理机构	暂无	代理人	暂无

摘要

一种检测基片转速装置，包括驱动组件，主动轮组件，从动轮组件，转速轮组件及转速测量传感器。主动轮组件和从动轮组件用于支撑基片及驱动基片旋转，转速测量传感器用于测量转速轮组件旋转速度。本实用新型通过比较驱动组件旋转速度与转速轮组件旋转速度，对基片旋转作出检测，同时对碾磨、化学机械抛光、清洗装置的工作状况进行监测，从而提高设备的生产效率和基片的成品率。

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