异物检查装置、曝光装置以及物品制造方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201910873185.X
IPC分类号：G03F1/84;G03F7/20
申请日期：
2019-09-17
申请人：
佳能株式会社

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法律信息

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著录项信息

专利名称	异物检查装置、曝光装置以及物品制造方法
申请号	CN201910873185.X	申请日期	2019-09-17
法律状态	公开	申报国家	暂无
公开/公告日	2020-03-31	公开/公告号	CN110941138A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G03F1/84 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G03 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕 G03F 图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备（照相排版装置入B41B；为摄影用的感光材料或处理入G03C；电记录、感光层或处理入G03G） G03F1/16 （转入G03F 1/00-G03F 1/86） G03F1/68 未包含在G03F 1/20至G03F 1/50组中的制备工艺〔2012.01〕 G03F1/82 辅助工艺，例如清洗〔2012.01〕 G03F1/84 检查〔2012.01〕	IPC分类号	G;0;3;F;1;/;8;4;;;G;0;3;F;7;/;2;0查看分类表>
申请人	佳能株式会社	申请人地址	日本东京变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	佳能株式会社	当前权利人	佳能株式会社
发明人	前田浩平
代理机构	中国国际贸易促进委员会专利商标事务所	代理人	许海兰

摘要

提供一种相对于检查对象物的平坦度的下降而言稳定的异物检查装置、曝光装置以及物品制造方法。检查物体的被检查面上的异物的异物检查装置具有：投光部，向所述被检查面投射检查光；以及受光部，接受由于通过所述投光部投射所述检查光而产生的来自所述异物的散射光，所述异物检查装置以所述投光部的光轴与所述受光部的光轴相交的点位于从所述被检查面可取的高度范围偏移的位置的方式配置了所述投光部和所述受光部。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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