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热板温度均匀性测试方法

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN201010578121.6
  • IPC分类号:G03F7/20;H01L21/66
  • 申请日期:
    2010-12-08
  • 申请人:
    无锡华润上华科技有限公司
著录项信息
专利名称热板温度均匀性测试方法
申请号CN201010578121.6申请日期2010-12-08
法律状态撤回申报国家中国
公开/公告日2012-07-11公开/公告号CN102566284A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G03F7/20IPC分类号G;0;3;F;7;/;2;0;;;H;0;1;L;2;1;/;6;6查看分类表>
申请人无锡华润上华科技有限公司申请人地址
江苏省无锡市国家高新技术产业开发区新洲路8号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人无锡华润上华科技有限公司当前权利人无锡华润上华科技有限公司
发明人黄玮
代理机构暂无代理人暂无
摘要
本发明提供了一种热板温度均匀性测试方法,其包括步骤:提供两个非对称图形并放置于光刻版上,该两个非对称图形之间具有距离D1及两个非对称图形各自中心线之间具有距离L1;设定曝光后烘烤(PEB)温度;将曝光后的放置有两个非对称图形的圆片进行曝光后烘烤,形成潜像图形,两个非对称图形之间的距离变化为D2且两个非对称图形各自中心线之间的距离变化为L2;上述两个非对称图形组成光刻机的对位标记或特定测试结构,利用光刻机的对位系统测定各对位标记或特定测试结构的坐标/距离,并比较测试值和理论数值的差异以定量反映热板温度的均匀性。本发明利用非对称图形经过PEB后最终形成的潜像图像的中心发生偏移的特性,定量反应热板温度的均匀性。

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