一种精密抛光晶片用有机物清洗液

发明专利无效专利

申请号：
CN200510086960.5
IPC分类号：C11D7/26;H01L21/304
申请日期：
2005-11-23
申请人：
中国科学院半导体研究所

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种精密抛光晶片用有机物清洗液
申请号	CN200510086960.5	申请日期	2005-11-23
法律状态	撤回	申报国家	中国
公开/公告日	2007-05-30	公开/公告号	CN1970714
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C11D7/26 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C0 化学 C11 动物或植物油、脂、脂肪物质或蜡；由此制取的脂肪酸；洗涤剂；蜡烛 C11D 洗涤剂组合物；用单一物质作为洗涤剂；皂或制皂；树脂皂；甘油的回收 C11D7/00 主要以非表面活性化合物为基料的洗涤剂组合物 C11D7/22 有机化合物 C11D7/26 含氧的	IPC分类号	C;1;1;D;7;/;2;6;;;H;0;1;L;2;1;/;3;0;4查看分类表>
申请人	中国科学院半导体研究所	申请人地址	北京市海淀区清华东路甲35号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中国科学院半导体研究所	当前权利人	中国科学院半导体研究所
发明人	朱蓉辉;惠峰;卜俊鹏;郑红军
代理机构	中科专利商标代理有限责任公司	代理人	段成云

摘要

本发明涉及清洗液技术领域，特别是一种适用于精密抛光晶片的有机物去除清洗液。该有机物清洗液由醚和醇两种有机溶剂组成。醚在混合液中所占重量含量为5％到95％，醇所占重量含量为95％到5％。其中醚由下列中选出：甲醚、乙醚、乙二醚、丙醚、丁醚、异丙醚、乙丙醚、苯甲醚、石油醚。其中醚为石油醚。其中醇由下列选出：甲醇、乙醇、乙二醇、丙醇、异丙醇、丁醇、2－丁醇、正丁醇、丙醇、正丙醇、正戊醇、异戊醇。其中醇含有三个以下的羟基。其中醇含有一个羟基。其中醇为异丙醇。

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