一种湿法设备的排气结构

实用新型专利有效专利

申请号：
CN202120175234.5
IPC分类号：B01J19/00;B08B15/04
申请日期：
2021-01-21
申请人：
上海至纯洁净系统科技股份有限公司;至微半导体(上海)有限公司

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著录项信息

专利名称	一种湿法设备的排气结构
申请号	CN202120175234.5	申请日期	2021-01-21
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B01J19/00 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B0 分离；混合 B01 一般的物理或化学的方法或装置 B01J 化学或物理方法，例如，催化作用或胶体化学；其有关设备〔2〕 B01J19/00 化学的，物理的或物理—化学的一般方法；及其有关设备〔3，2006.01〕	IPC分类号	B;0;1;J;1;9;/;0;0;;;B;0;8;B;1;5;/;0;4查看分类表>
申请人	上海至纯洁净系统科技股份有限公司;至微半导体(上海)有限公司	申请人地址	上海市闵行区紫海路170号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	上海至纯洁净系统科技股份有限公司,至微半导体(上海)有限公司	当前权利人	上海至纯洁净系统科技股份有限公司,至微半导体(上海)有限公司
发明人	邓信甫;徐铭;陈佳炜;李志锋;刘大威
代理机构	北京沁优知识产权代理有限公司	代理人	刘富艳

摘要

本实用新型公开了一种湿法设备的排气结构，其技术方案要点是包括隔板，隔板位于工艺槽体区域和排气区域之间，隔板上开设有两个连通孔，并在隔板上设置与连通孔相对应的通气机构，通气机构包括连接板，在连接板上设置通气部，通气部包括若干并列设置的长条形通气孔，通气孔的横截面积较小，工艺槽体区域的空间较大，当抽气设备工作时，酸气从工艺槽体区域流向通气孔，使得靠近通气孔的酸气的流速大于远离通气孔的酸气的流速，酸气流速加快，使得酸气抽出的效率提高，防止酸气腐蚀机器，通过在隔板上设置容纳机构，容纳机构包括容纳盒，容纳盒内开设有容纳槽，当抽气设备工作时，酸气依次通过通气部和容纳槽。

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