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齿轮加工中用于干切削的纳米涂层刀具的涂覆方法

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN201510928120.2
  • IPC分类号:C23C14/35
  • 申请日期:
    2015-12-15
  • 申请人:
    哈尔滨爱坦科技有限公司
著录项信息
专利名称齿轮加工中用于干切削的纳米涂层刀具的涂覆方法
申请号CN201510928120.2申请日期2015-12-15
法律状态撤回申报国家中国
公开/公告日2017-06-23公开/公告号CN106884148A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C14/35IPC分类号C;2;3;C;1;4;/;3;5查看分类表>
申请人哈尔滨爱坦科技有限公司申请人地址
黑龙江省哈尔滨市南岗区沿河路2-1号3单元5层1号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人哈尔滨爱坦科技有限公司当前权利人哈尔滨爱坦科技有限公司
发明人张淼
代理机构暂无代理人暂无
摘要
齿轮加工中用于干切削的纳米涂层刀具的涂覆方法。本发明方法包括:刀具的纳米涂层的涂覆可采用先进的封闭场不平衡磁溅射法(CFUMS),具体步骤如下所述:磁源靶置于真空室内壁上,被涂刀具置于转鼓上,将氩气通入真空室中。根据涂层材料是非导体或导体,分别用RF和DC电源进行磁化产生等离子,当沉积多层薄膜时需要两种不同材料的等离子体,这时则可采用两个靶,当转鼓转一整转,即可沉积一层双材料层,根据涂层所需层厚,可确定所需双材料层的层数,从而确定转鼓转动转数,每一层涂层的层厚则可通过每个靶的功率、转鼓的转速以及靶材料的溅射特性来控制。本发明应用于齿轮加工中用于干切削的纳米涂层刀具的涂覆。

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