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分割方法和分割装置

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN202110223522.8
  • IPC分类号:H01L21/304;H01L21/67
  • 申请日期:
    2021-03-01
  • 申请人:
    株式会社迪思科
著录项信息
专利名称分割方法和分割装置
申请号CN202110223522.8申请日期2021-03-01
法律状态公开申报国家中国
公开/公告日2021-09-07公开/公告号CN113363147A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/304
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IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;3;0;4;;;H;0;1;L;2;1;/;6;7查看分类表>
申请人株式会社迪思科申请人地址
日本东京都 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人株式会社迪思科当前权利人株式会社迪思科
发明人赵金艳;植木笃;政田孝行
代理机构北京三友知识产权代理有限公司代理人于靖帅;乔婉
摘要
本发明提供分割方法和分割装置,能够形成期望宽度的分割槽。分割方法是沿着分割预定线形成有改质层并且粘贴在扩展片上的被加工物的分割方法,该分割方法包含如下的步骤:分割步骤,对扩展片进行扩展并沿着改质层对被加工物进行分割,形成沿着分割预定线的分割槽;扩展解除步骤,在实施了分割步骤之后,解除扩展片的扩展;以及槽宽度调整步骤,在实施了扩展解除步骤之后,对扩展片进行扩展而将分割槽形成为期望的宽度。

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