基板处理装置和基板处理装置的控制方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201510962055.5
IPC分类号：H01J37/32
申请日期：
2012-03-30
申请人：
东京毅力科创株式会社

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著录项信息

专利名称	基板处理装置和基板处理装置的控制方法
申请号	CN201510962055.5	申请日期	2012-03-30
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2016-02-24	公开/公告号	CN105355532A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01J37/32 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01J 放电管或放电灯（火花隙入H01T；消耗电极的弧光灯入H05B；粒子加速器入H05H） H01J37/00 有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的（H01J 33/00、H01J 40/00、H01J 41/00、H01J 47/00、H01J 49/00优先）〔2，5〕 H01J37/32 充气放电管（放电加热的入H05B）	IPC分类号	H;0;1;J;3;7;/;3;2查看分类表>
申请人	东京毅力科创株式会社	申请人地址	日本东京都变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	东京毅力科创株式会社	当前权利人	东京毅力科创株式会社
发明人	桧森慎司;山田纪和;大瀬刚
代理机构	北京尚诚知识产权代理有限公司	代理人	龙淳;邸万杰

摘要

本发明提供一种基板处理装置以及该基板处理装置的控制方法。上述基板处理装置，包括：内部被减压的处理室；配置在该处理室内、载置基板的载置台；施加等离子体生成用高频电压的第一高频电源；对所述载置台施加偏置电压发生用高频电压、在所述载置台产生偏置电压的第二高频电源；对所述载置台施加矩形波状的直流电压、在所述载置台产生偏置电压的直流电压施加单元；和开关机构，该开关机构配置在所述载置台与所述第二高频电源以及所述直流电压施加单元之间，能够控制所述载置台与所述第二高频电源的连接以及所述载置台与所述直流电压施加单元的连接。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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