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一种空间分辨率可变的哈特曼波前传感器

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN202011195579.3
  • IPC分类号:G01J9/00
  • 申请日期:
    2020-10-30
  • 申请人:
    中国科学院光电技术研究所
著录项信息
专利名称一种空间分辨率可变的哈特曼波前传感器
申请号CN202011195579.3申请日期2020-10-30
法律状态实质审查申报国家中国
公开/公告日2021-02-02公开/公告号CN112304443A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G01J9/00IPC分类号G;0;1;J;9;/;0;0查看分类表>
申请人中国科学院光电技术研究所申请人地址
四川省成都市双流350信箱 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人中国科学院光电技术研究所当前权利人中国科学院光电技术研究所
发明人黄林海;饶学军;杨金生
代理机构北京科迪生专利代理有限责任公司代理人杨学明
摘要
本发明公开了一种空间分辨率可变的哈特曼波前传感器,包含有光束发散系统,微透镜阵列,光电探测器和两个平移装置。通过驱动两个平移装置使得设置在其上的微透镜阵列和光电探测器可沿光轴方向前后移动,从而改变分割波前的子孔径阵列数,并通过本发明提出的波前复原算法反演波前,从而实现空间分辨率可变的波前探测能力。本发明直接采用球面波进行标定,简化了光学结构,用微透镜阵列直接分割球面波前,提高了光能利用率,并且实现了采样率大范围连续可调,对输入探测对象特性变化较大的场合具有更好的波前探测适应能力。

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