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放射线敏感性树脂组合物、间隔物及其形成方法

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN200580013943.7
  • IPC分类号:G03F7/032;G02F1/1339
  • 申请日期:
    2005-02-18
  • 申请人:
    JSR株式会社
著录项信息
专利名称放射线敏感性树脂组合物、间隔物及其形成方法
申请号CN200580013943.7申请日期2005-02-18
法律状态驳回申报国家中国
公开/公告日2007-04-18公开/公告号CN1950751
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G03F7/032IPC分类号G;0;3;F;7;/;0;3;2;;;G;0;2;F;1;/;1;3;3;9查看分类表>
申请人JSR株式会社申请人地址
日本东京都 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人JSR株式会社当前权利人JSR株式会社
发明人梶田彻;一户大吾;志保浩司
代理机构中国专利代理(香港)有限公司代理人邹雪梅
摘要
本发明提供一种放射线敏感性树脂组合物、由其形成的间隔物及其形成方法,其中所述放射线敏感性树脂组合物具有高感度、高解像度,且可容易形成图案形状、压缩强度、摩擦耐性、与透明基板的贴合性等各性能均优异的图案状薄膜,烧结时可抑制升华物的发生。其特征在于:含有(A)聚合物,该聚合物具有羧基和环氧基、且通过凝胶渗透色谱测定的、经聚苯乙烯换算的重均分子量(Mw)和经聚苯乙烯换算的数均分子量(Mn)的比(Mw/Mn)为1.7以下,(B)聚合性不饱和化合物和(C)放射线敏感性聚合引发剂。

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供