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一种薄膜晶体管像素单元及其制造方法

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN201210362112.2
  • IPC分类号:H01L21/786;G09F9/33
  • 申请日期:
    2012-09-25
  • 申请人:
    上海天马微电子有限公司
著录项信息
专利名称一种薄膜晶体管像素单元及其制造方法
申请号CN201210362112.2申请日期2012-09-25
法律状态驳回申报国家中国
公开/公告日2014-03-26公开/公告号CN103681494A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/786
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IPC结构图谱:
IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;7;8;6;;;G;0;9;F;9;/;3;3查看分类表>
申请人上海天马微电子有限公司申请人地址
上海市浦东新区龙东大道汇庆路889号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人上海天马微电子有限公司当前权利人上海天马微电子有限公司
发明人顾寒昱;曾章和
代理机构暂无代理人暂无
摘要
本发明提供一种薄膜晶体管像素单元及其制造方法,所述薄膜晶体管像素单元包括:位于衬底上的多晶硅图形,所述多晶硅图形包括沟道区域、源极区域、漏极区域和存储电容第一极板区域;位于所述多晶硅图形上的栅极绝缘层;其特征在于,所述栅极绝缘层包括位于所述沟道区域上方的第一区域和位于所述存储电容第一极板区域上方的第二区域,并且,所述第一区域的厚度大于第二区域的厚度。本实施例提供的薄膜晶体管像素单元可具备较好的薄膜晶体管器件特性,同时存储电容值较高,可良好的维持一帧画面的显示,提高了显示装置的性能,减小了薄膜晶体管像素单元的设计限制。

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