一种多通道喷淋装置检漏工装及检测方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201510677407.2
IPC分类号：G01M3/02
申请日期：
2015-10-19
申请人：
沈阳拓荆科技有限公司

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专利名称	一种多通道喷淋装置检漏工装及检测方法
申请号	CN201510677407.2	申请日期	2015-10-19
法律状态	暂无	申报国家	中国
公开/公告日	2016-02-24	公开/公告号	CN105352664A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01M3/02 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01M 机器或结构部件的静或动平衡的测试；其他类目中不包括的结构部件或设备的测试 G01M3/00 结构部件的流体密封性的测试 G01M3/02 应用流体或真空	IPC分类号	G;0;1;M;3;/;0;2查看分类表>
申请人	沈阳拓荆科技有限公司	申请人地址	辽宁省沈阳市浑南区水家900号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	拓荆科技股份有限公司	当前权利人	拓荆科技股份有限公司
发明人	吕光泉;苏欣;吴凤丽
代理机构	沈阳维特专利商标事务所（普通合伙）	代理人	甄玉荃;霍光旭

摘要

多通道喷淋装置检漏工装，是以提高多通道喷淋装置的检漏工作效率，降低检漏操作时的安全风险为目的，确保半导体设备中多通道喷淋装置关键件的性能满足生产要求。该工装包括转接件、真空密封板，夹具三个部分。检测方法，先将真空密封板放置于夹具中心处的凹槽内，用螺钉将多通道喷淋装置锁紧在夹具上，使多通道喷淋装置的喷淋小孔一侧紧密贴合于真空密封板，将多通道喷淋装置的喷淋小孔一侧封闭，再将转接件的法兰与多通道喷淋装置的进气口连接，这样，检漏仪器与转接件的某一检漏口连接，敞开转接件的其他检漏口，开启检漏仪器，对这一气体通道进行检漏，同理，检漏仪器分别与转接件的其他检漏口连接，开启检漏仪器，对其他气体通道分别进行检漏，实现多通道喷淋装置的各个通道的检漏操作。

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