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顶部抗反射涂料聚合物、制法及顶部抗反射涂料组合物

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN200510091951.5
  • IPC分类号:G03F7/11;G03F7/00;H01L21/00
  • 申请日期:
    2005-08-15
  • 申请人:
    海力士半导体有限公司
著录项信息
专利名称顶部抗反射涂料聚合物、制法及顶部抗反射涂料组合物
申请号CN200510091951.5申请日期2005-08-15
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日2007-02-21公开/公告号CN1916764
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G03F7/11IPC分类号G;0;3;F;7;/;1;1;;;G;0;3;F;7;/;0;0;;;H;0;1;L;2;1;/;0;0查看分类表>
申请人海力士半导体有限公司申请人地址
韩国京畿道 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人海力士半导体有限公司当前权利人海力士半导体有限公司
发明人郑儎昌;卜喆圭;林昌文;文承灿
代理机构北京市柳沈律师事务所代理人宋莉;贾静环
摘要
本发明公开一种由下式1表示的顶部抗反射涂料聚合物,其中R1和R2独立地为氢、氟、甲基、或氟甲基;R3为C1-10烃或其中氢原子部分地由氟原子取代的C1-10烃;及表示各单体摩尔分数的a、b和c为0.05至0.9。因为使用式1的抗反射涂料聚合物形成的顶部抗反射涂层不溶于水中,其可应用于使用水作为光源介质的浸没式光刻。此外,因为该顶部抗反射涂层可减少来自下层的反射,其改良CD的均匀性,从而可形成超精细图案。

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