检查装置以及检查方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201110140338.3
IPC分类号：G01B11/25
申请日期：
2011-05-27
申请人：
索尼公司

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	检查装置以及检查方法
申请号	CN201110140338.3	申请日期	2011-05-27
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2012-01-25	公开/公告号	CN102331240A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01B11/25 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01B 长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量 G01B11/00 以采用光学方法为特征的计量设备（G01B 9/00组中包括的各式仪器本身入G01B 9/00）〔2〕 G01B11/24 用于计量轮廓或曲率 G01B11/25 通过在物体上投影一个图形，例如莫尔（moiré）条纹（G01B 11/255优先）〔7〕	IPC分类号	G;0;1;B;1;1;/;2;5查看分类表>
申请人	索尼公司	申请人地址	日本东京都变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	重机自动化系统有限公司	当前权利人	重机自动化系统有限公司
发明人	五十岚丰
代理机构	北京市柳沈律师事务所	代理人	黄小临

摘要

本发明提供检查装置以及检查方法，使通过相位偏移法测定立体形状而进行的被检查物的检查能够低噪声且高效率地进行。在通常状态下进行拍摄(步骤S11)，并且为了通过相位偏移法测定立体形状，在投射了光栅条纹的状态下进行拍摄(步骤S12)。从拍摄所得的二维图像中，确定被测定物的检查区域(步骤S14)。并且，从投射了光栅条纹的二维图像中，关于已确定的检查区域测定立体形状，从而进行立体形状检查(步骤S15)。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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该专利没有被任何外部专利所引用！

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