基于低温共烧陶瓷基板的无源无线气体传感器及其制备方法

发明专利无效专利

申请号：
CN201510397868.4
IPC分类号：G01N27/04
申请日期：
2015-07-08
申请人：
中国科学院上海硅酸盐研究所

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引证文献

著录项信息

专利名称	基于低温共烧陶瓷基板的无源无线气体传感器及其制备方法
申请号	CN201510397868.4	申请日期	2015-07-08
法律状态	撤回	申报国家	中国
公开/公告日	2015-11-04	公开/公告号	CN105021659A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01N27/04 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01N （除免疫测定法以外包括酶或微生物的测量或试验入C12M，C12Q） G01N27/00 用电、电化学或磁的方法测试或分析材料（G01N 3/00至G01N 25/00优先；电或磁变量的测量或试验，材料的电磁性能的测试或试验入G01R） G01N27/02 通过测试阻抗 G01N27/04 通过测试电阻	IPC分类号	G;0;1;N;2;7;/;0;4查看分类表>
申请人	中国科学院上海硅酸盐研究所	申请人地址	上海市长宁区定西路1295号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中国科学院上海硅酸盐研究所	当前权利人	中国科学院上海硅酸盐研究所
发明人	马名生;刘志甫;山巍;李永祥
代理机构	上海瀚桥专利代理事务所（普通合伙）	代理人	曹芳玲;郑优丽

摘要

本发明涉及基于低温共烧陶瓷基板的无源无线气体传感器及其制备方法，所述基于低温共烧陶瓷基板的无源无线气体传感器包括：低温共烧陶瓷基板、形成于所述低温共烧陶瓷基板上的LC谐振天线、以及涂覆于所述LC谐振天线上的由金属硫族化合物构成的气敏膜。本发明对NH3和NO2等污染有毒性气体具有较高的灵敏度，进一步拓展LTCC无源无线气体传感器的气敏范围，提高LTCC无源无线气体传感器的测量范围和灵敏度。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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