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一种改进的机器人伸缩臂

发明专利有效专利

申请号：
CN201010124465.X
IPC分类号：H01L21/677
申请日期：
2010-03-11
申请人：
中芯国际集成电路制造（上海）有限公司

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种改进的机器人伸缩臂
申请号	CN201010124465.X	申请日期	2010-03-11
法律状态	授权	申报国家	暂无
公开/公告日	2011-09-21	公开/公告号	CN102194727A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01L21/677 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G 9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中半导体器件的使用见该应用的小类）〔2〕 H01L21/00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备〔2，8〕 H01L21/67 专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置〔8〕 H01L21/677 用于传送的，例如在不同的工作站之间〔8〕	IPC分类号	H;0;1;L;2;1;/;6;7;7查看分类表>
申请人	中芯国际集成电路制造（上海）有限公司	申请人地址	上海市浦东新区张江路18号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中芯国际集成电路制造（上海）有限公司,中芯国际集成电路制造（北京）有限公司	当前权利人	中芯国际集成电路制造（上海）有限公司,中芯国际集成电路制造（北京）有限公司
发明人	沈祥江
代理机构	北京市磐华律师事务所	代理人	董巍;顾珊

摘要

本发明提供一种改进的机器人伸缩臂，其通过在机器人伸缩臂前端的探测面上形成透明保护层，从而防止在多晶硅刻蚀制程中，氢溴酸类的刻蚀残余物腐蚀到内置于机器人伸缩臂的光纤映射传感器的光纤探测单元。本发明简单易行，效果显著，有效地保护了光纤映射传感器的光纤探测单元，使其在多晶硅刻蚀制程中不受氢溴酸等刻蚀残余物的腐蚀，有利于增加机器人伸缩臂的使用寿命，降低晶片的制作成本。

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