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一种MEMS麦克风封装结构

实用新型专利有效专利
  • 申请号:
    CN201720039020.9
  • IPC分类号:H04R19/04;H04R31/00
  • 申请日期:
    2017-01-13
  • 申请人:
    无锡红光微电子股份有限公司
著录项信息
专利名称一种MEMS麦克风封装结构
申请号CN201720039020.9申请日期2017-01-13
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H04R19/04IPC分类号H;0;4;R;1;9;/;0;4;;;H;0;4;R;3;1;/;0;0查看分类表>
申请人无锡红光微电子股份有限公司申请人地址
江苏省无锡市无锡国家高新技术产业开发区93号-B-1地块 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人无锡红光微电子股份有限公司当前权利人无锡红光微电子股份有限公司
发明人王志超;葛修坤;徐震鸣;董育智
代理机构无锡盛阳专利商标事务所(普通合伙)代理人顾吉云
摘要
本实用新型提供了一种MEMS麦克风封装结构,增加了MEMS麦克风的背腔体积,增加MEMS麦克风的灵敏度和信噪比,包括PCB板,还包括:金属壳体,金属壳体设置于所述PCB板上,所述金属壳体与所述PCB板之间构成内腔体,所述金属壳体上设有通孔;MEMS芯片,所述MEMS芯片设置在所述金属壳体上,所述MEMS芯片的背腔正对所述通孔设置,所述MEMS芯片的背腔通过所述通孔连通所述内腔体;ASIC芯片,所述ASIC芯片分别通过导线与所述MEMS芯片以及所述PCB板电连接。

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