加载中...
首页专利查询专利详情

*来源于国家知识产权局数据,仅供参考,实际以国家知识产权局展示为准

半导体装置及其制造方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201710748816.6
  • IPC分类号:H01L21/8238;H01L27/092
  • 申请日期:
    2017-08-28
  • 申请人:
    中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
著录项信息
专利名称半导体装置及其制造方法
申请号CN201710748816.6申请日期2017-08-28
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2019-03-05公开/公告号CN109427680A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/8238
?
IPC结构图谱:
IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;8;2;3;8;;;H;0;1;L;2;7;/;0;9;2查看分类表>
申请人中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司申请人地址
上海市浦东新区张江路18号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人中芯国际集成电路制造(上海)有限公司,中芯国际集成电路制造(北京)有限公司当前权利人中芯国际集成电路制造(上海)有限公司,中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
发明人周飞
代理机构中国贸促会专利商标事务所有限公司代理人李浩
摘要
本发明公开了一种半导体装置及其制造方法。方法包括:提供半导体结构,其包括:衬底、在衬底上的鳍片和在鳍片上的伪栅极结构,伪栅极结构包括:在鳍片上的伪栅极绝缘物层和在伪栅极绝缘物层上的伪栅极;在半导体结构上沉积盖层,盖层包括在伪栅极结构侧面上的第一部分和在半导体鳍片之上的第二部分;在第一部分侧面上形成牺牲层;以伪栅极结构和牺牲层为掩模,刻蚀第二部分和半导体鳍片以形成第一凹陷和第二凹陷;在这两个凹陷中分别形成源极和漏极;形成层间电介质层并执行平坦化以露出伪栅极的上表面;和去除伪栅极和伪栅极绝缘物层的部分以形成露出半导体鳍片的部分表面的凹槽。本发明可以防止后续形成的金属栅极与源极和漏极连接。

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供