环保型铜表面粗化液及其制备方法

发明专利有效专利

申请号：
CN202011453963.9
IPC分类号：C23F1/18;H05K3/38
申请日期：
2020-12-10
申请人：
昆山市板明电子科技有限公司

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著录项信息

专利名称	环保型铜表面粗化液及其制备方法
申请号	CN202011453963.9	申请日期	2020-12-10
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2021-04-30	公开/公告号	CN112725799A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C23F1/18 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕 C23F 非机械方法去除表面上的金属材料（电浸蚀法加工金属入B23H；火焰法清除表层金属材料入B23K 7/00；用激光束加工金属入B23K 26/00）；金属材料的缓蚀；一般防积垢（电解或电泳法处理金属表面或金属覆层入C25D，C25F）；至少一种在C23大类中所列的方法及至少一种在C21D、C22F小类或者C25大类中所列的方法之多步法金属材料表面处理〔4〕 C23F1/00 金属材料的化学法蚀刻〔2〕 C23F1/10 蚀刻用组合物（C23F 1/44优先）〔4〕 C23F1/14 含水组合物〔4〕 C23F1/16 酸性组合物（C23F 1/42优先）〔4〕 C23F1/18 蚀刻铜或铜合金用的〔4〕	IPC分类号	C;2;3;F;1;/;1;8;;;H;0;5;K;3;/;3;8查看分类表>
申请人	昆山市板明电子科技有限公司	申请人地址	江苏省苏州市昆山市千灯镇秦峰北路195号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	昆山市板明电子科技有限公司	当前权利人	昆山市板明电子科技有限公司
发明人	王立中;黄志齐;陈修宁;黄京华;王淑萍;李晨庆;刘亮亮
代理机构	昆山中际国创知识产权代理有限公司	代理人	盛建德;孙海燕

摘要

本发明涉及一种环保型铜表面粗化液，包含以下组分提供二价铜离子的铜源，所述二价铜离子的浓度为5g/L～55g/L；提供氯离子的氯源，所述氯离子的浓度为5g/L～165g/L；无机酸，所述无机酸的浓度为20g/L～200g/L；脂肪胺，所述脂肪胺的浓度为0.001g/L～3g/L；吡啶衍生物，所述吡啶衍生物为0.001g/L～2g/L；以及溶剂为水。所述二价铜离子的铜源为氯化铜、硫酸铜、氧化铜和碱式碳酸铜中的至少一种。本粗化液对铜箔表面进行处理后，得到的铜箔表面的粗化程度良好、板面均匀，有效地提高了铜箔与干膜抗蚀剂、湿膜抗蚀剂、防焊油墨等之间的结合力，保证制程的品质和良率。

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