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多晶硅铸锭炉热场进气管保温结构

实用新型专利无效专利

申请号：
CN201120072533.2
IPC分类号：C30B28/06;C30B29/06
申请日期：
2011-03-18
申请人：
石金精密科技（深圳）有限公司

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	多晶硅铸锭炉热场进气管保温结构
申请号	CN201120072533.2	申请日期	2011-03-18
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C30B28/06 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C30 晶体生长〔3〕 C30B 单晶生长（用超高压的，例如用于金刚石形成的入B01J 3/06）；共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层；材料的区熔精炼（金属或合金的区熔精炼入C22B）；具有一定结构的均匀多晶材料的制备（金属铸造，按同样工艺或装置的其他物质铸造入B22D；塑料的加工入B29；改变金属或合金的物理结构入C21D、C22F）；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理（用于半导体器件或元件生产的入H01L）；其所用的装置〔3〕 C30B28/00 制备具有一定结构的均匀多晶材料〔5〕 C30B28/04 由液态制备〔5〕 C30B28/06 正常凝固法或温度梯度凝固法〔5〕	IPC分类号	C;3;0;B;2;8;/;0;6;;;C;3;0;B;2;9;/;0;6查看分类表>
申请人	石金精密科技（深圳）有限公司	申请人地址	广东省深圳市宝安区松岗街道同富裕工业区安润路2号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	深圳市石金科技股份有限公司	当前权利人	深圳市石金科技股份有限公司
发明人	李恒文;南志华;龙礼妹
代理机构	深圳市世纪恒程知识产权代理事务所	代理人	胡海国

摘要

本实用新型涉及一种多晶硅铸锭炉热场进气管保温结构，包括隔热层，以及设置在隔热层上与该隔热层内腔连通的进气管，进气管在其与隔热层的连接处的外围包裹有用于隔热保温的保温碳毡。本实用新型多晶硅铸锭炉热场进气管保温结构，在进气管处增加圆环形或其它形状的保温碳毡，有助于提高隔热层的整体保温效果，使熔硅时间减短，能耗降低，从而提高了多晶硅铸锭炉的经济效益。

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