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用在塑材上溅射金属中定位的夹具

实用新型专利无效专利
  • 申请号:
    CN200820199343.5
  • IPC分类号:C23C14/34
  • 申请日期:
    2008-11-26
  • 申请人:
    柏霆(苏州)光电科技有限公司;柏腾科技股份有限公司
著录项信息
专利名称用在塑材上溅射金属中定位的夹具
申请号CN200820199343.5申请日期2008-11-26
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C14/34IPC分类号C;2;3;C;1;4;/;3;4查看分类表>
申请人柏霆(苏州)光电科技有限公司;柏腾科技股份有限公司申请人地址
江苏省苏州市高新区木桥街1号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人柏霆(苏州)光电科技有限公司,柏腾科技股份有限公司当前权利人柏霆(苏州)光电科技有限公司,柏腾科技股份有限公司
发明人林政乾
代理机构苏州创元专利商标事务所有限公司代理人孙仿卫
摘要
本实用新型涉及一种用在塑材上溅射金属中定位的夹具,该夹具用于将塑材工件在进行真空溅射金属沉积薄膜工艺中进行定位,塑材工件包括镀膜区和非镀膜区,该夹具包括上框、底座、遮蔽装置、真空离子减弱装置,底座上设置有用于将塑材工件定位在其上的定位装置,底座和上框上设置有相互配合作用的定位机构,该定位机构能对底座和上框之间进行定位;遮蔽装置用于对塑材工件的非镀膜区进行遮蔽,遮蔽装置的尺寸和位置与所述塑材工件上的非镀膜区尺寸和位置相对应;真空离子减弱装置用来减弱金属离子对塑材工件上的镀膜区的较薄弱易产生变形部位的溅射。其优点在于:塑材工件经本实用新型定位后进行溅射,能够快速、准确的获得织密稳定的沉积薄膜。

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