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用于制备半导体电热膜的前驱体溶液、电热膜及制备方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201510683050.9
  • IPC分类号:H05B3/34;H05B3/14
  • 申请日期:
    2015-10-21
  • 申请人:
    江苏江汉电热设备科技有限公司
著录项信息
专利名称用于制备半导体电热膜的前驱体溶液、电热膜及制备方法
申请号CN201510683050.9申请日期2015-10-21
法律状态暂无申报国家中国
公开/公告日2016-01-06公开/公告号CN105228273A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H05B3/34IPC分类号H;0;5;B;3;/;3;4;;;H;0;5;B;3;/;1;4查看分类表>
申请人江苏江汉电热设备科技有限公司申请人地址
广东省深圳市宝安区福永街道凤凰兴业三路3号美盈(凤凰)智汇创新园研发楼1栋5楼 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人深圳市热客派尔热力科技有限公司当前权利人深圳市热客派尔热力科技有限公司
发明人韦建中;葛金生;贺旭辉
代理机构暂无代理人暂无
摘要
一种用于制备半导体电热膜的前驱体溶液、电热膜及其制备方法。首先,提供了以四氯化锡、纳米二氧化锡、三氯化锑、氢氟酸、硼酸、氯化钾、三乙醇胺及相关溶剂混合形成的制备半导体电热膜的前驱体溶液;其次,还提供了由喷涂成膜工艺和浸渍工艺相结合的成膜工艺,并辅以梯度热处理工艺,获得了成膜质量高、适宜大尺寸生产的半导体电热膜。本发明提高电热膜与基体的结合力,获得了抗热冲击能力强的电热膜;提高大面积成膜的均一性和制膜效率;获得方块电阻可调范围大的电热膜以适应不同行业需求。

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