利用激光的三维图案化方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201580067949.6
IPC分类号：H01L51/56;H01L21/268
申请日期：
2015-05-21
申请人：
AP系统股份有限公司

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著录项信息

专利名称	利用激光的三维图案化方法
申请号	CN201580067949.6	申请日期	2015-05-21
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2017-08-01	公开/公告号	CN107004780A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01L51/56 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G 9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中半导体器件的使用见该应用的小类）〔2〕 H01L51/20 （转入H01L 51/05，H01L 51/42，H01L 51/50） H01L51/50 专门适用于光发射的，如有机发光二极管（OLED）或聚合物发光器件（PLED）（有机半导体激光器入 H01S 5/36）〔8〕 H01L51/56 专门适用于制造或处理这种器件或其部件的方法或设备〔8〕	IPC分类号	H;0;1;L;5;1;/;5;6;;;H;0;1;L;2;1;/;2;6;8查看分类表>
申请人	AP系统股份有限公司	申请人地址	韩国京畿道华城市变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	AP系统股份有限公司	当前权利人	AP系统股份有限公司
发明人	朴钟甲;金宝蓝;许俊圭;金度勋
代理机构	北京品源专利代理有限公司	代理人	吕琳;宋东颖

摘要

本发明用于利用激光使得由三维结构物构成的图案形成于被加工对象物，其利用激光对被加工对象物进行三维图案化，所述三维图案化方法包括：第一步骤，在上述被加工对象物上设置单位加工区域；第二步骤，激光束从上述单位加工区域的一个边界开始沿着第1扫描路径移动，直至到达上述单位加工区域的另一侧边界为止对包括在上述单位加工区域内的三维结构物进行加工；第三步骤，向下一步转换上述激光束的方向并移动步距大小的距离，从而移动至第2扫描路径；以及第四步骤，反复执行上述第二步骤和第三步骤，并沿着第n扫描路径完成激光束的移动，从而实现对整个单位加工区域的加工。

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