大行程纳米位移定位宏动台锁定控制方法及系统

发明专利无效专利

申请号：
CN200810040641.4
IPC分类号：G05D3/20;G01D5/26;G05B19/418
申请日期：
2008-07-16
申请人：
上海大学

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著录项信息

专利名称	大行程纳米位移定位宏动台锁定控制方法及系统
申请号	CN200810040641.4	申请日期	2008-07-16
法律状态	撤回	申报国家	中国
公开/公告日	2009-02-18	公开/公告号	CN101369155
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G05D3/20 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G05 控制；调节 G05D 非电变量的控制或调节系统（金属的连续铸造入B22D 11/16；阀门本身入F16K；非电变量的检测见G01各有关小类；电或磁变量的调节入G05F） G05D3/00 位置或方向的控制（G05D 1/00优先；用于数字控制的入G05B 19/18） G05D3/12 使用反馈的〔3〕 G05D3/20 使用数字比较装置的〔3〕	IPC分类号	G;0;5;D;3;/;2;0;;;G;0;1;D;5;/;2;6;;;G;0;5;B;1;9;/;4;1;8查看分类表>
申请人	上海大学	申请人地址	上海市宝山区上大路99号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	上海大学	当前权利人	上海大学
发明人	陈荣莲;韩颖
代理机构	上海上大专利事务所（普通合伙）	代理人	何文欣

摘要

本发明涉及一种大行程纳米位移定位宏动台锁定控制方法及系统。本方法的操作步骤是：(1)计算机(上位机)的通讯界面发出指令进行控制，首先使宏定位系统工作，带动宏、微两级工作台一起运动，当检测到的定位误差小于切换阈值时，完成宏定位；(2)通过计算机控制锁定宏动工作台，同时动态切换到微定位系统；(3)由微定位系统控制微动工作台进而达到系统要求的目标位置，完成定位。本系统主要包括：宏、微二级工作台及其相应的驱动系统；光栅反馈系统；PMAC控制器；激光干涉仪标定系统；计算机系统；以及隔振消除噪声装置(气浮隔振平台)等。在现有系统上，根据需求，采用本发明提供的方法，对现有系统硬件结构进行配置(压电陶瓷驱动装置)，当宏动台达到定位要求停止运动时，通过压电陶瓷对其进行锁定，从而提高系统的定位精度。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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