基板运送装置

发明专利有效专利

申请号：
CN200410104560.8
IPC分类号：B65G49/05;H01L21/68
申请日期：
2004-12-22
申请人：
富士机械制造株式会社

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	基板运送装置
申请号	CN200410104560.8	申请日期	2004-12-22
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2005-08-17	公开/公告号	CN1654289
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B65G49/05 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B6 交通运输 B65 输送；包装；贮存；搬运薄的或细丝状材料 B65G 运输或贮存装置，例如装载或倾卸用输送机、车间输送机系统或气动管道输送机（包装用的入B65B；搬运薄的或细丝状材料如纸张或细丝入B65H；起重机入B66C；便携式或可移动的举升或牵引器具，如升降机入B66D；用于装载或卸载目的的升降货物的装置，如叉车，入B66F9/00；不包括在其他类目中的瓶子、罐、罐头、木桶、桶或类似容器的排空入B67C9/00；液体分配或转移入B67D；将压缩的、液化的或固体化的气体灌入容器或从容器内排出入F17C；流体用管道系统入F17D） B65G49/00 其他类目不包含的以其要求特定目的为特点的输送系统 B65G49/05 用于易碎或易损的物料或物件〔4〕	IPC分类号	B;6;5;G;4;9;/;0;5;;;H;0;1;L;2;1;/;6;8查看分类表>
申请人	富士机械制造株式会社	申请人地址	日本爱知县知立市变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	富士机械制造株式会社	当前权利人	富士机械制造株式会社
发明人	矶贝武义;龟谷泰范
代理机构	隆天国际知识产权代理有限公司	代理人	经志强;潘培坤

摘要

本发明提供一种结构简单、可以小型化的运送装置，其不改变中心位置而可以调整保持基板的一对保持臂的间隔，使一对保持臂在保持基板的保持位置和从保持位置旋转大致90度的退避位置之间可以旋转。一对保持臂分别被可旋转地支撑于在运送方向上可移动地架装在底座上的一对臂支撑体上，在各保持臂在与运送方向大致为直角的水平方向上突出而保持基板的保持位置和从保持位置旋转大致90度的退避位置之间通过旋转装置使其旋转。通过臂支撑体接离装置使各臂支撑体在运送方向上向互为相反的方向连动地移动相等距离。通过运送移动装置使保持基板的一对臂支撑体在运送方向上一体移动。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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