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分流器

发明专利无效专利

申请号：
CN201110110675.8
IPC分类号：C23C14/34
申请日期：
2011-04-29
申请人：
深圳富泰宏精密工业有限公司

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权利要求

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	分流器
申请号	CN201110110675.8	申请日期	2011-04-29
法律状态	撤回	申报国家	中国
公开/公告日	2012-10-31	公开/公告号	CN102758185A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C23C14/34 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕 C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆（挤压法制造包覆金属的产品入B21C23/22；通过将预先存在的薄层连接到制品上的方法用金属进行镀覆处理的见各有关位置，例如B21D39/00，B23K；玻璃的金属化入C03C；砂浆、混凝土、人造石、陶瓷或天然石的金属化入C04B41/00；金属的搪瓷或向金属上镀覆玻璃体层入c23D；用电解法或电泳法处理金属表面或镀覆金属入C25D；单晶膜生长入C30B；纺织品的金属化入D06M11/83；用局部金属化法装饰纺织品入D06Q1/04）〔4〕 C23C14/00 通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆〔4，2006.01〕 C23C14/22 以镀覆工艺为特征的〔4〕 C23C14/34 溅射〔4〕	IPC分类号	C;2;3;C;1;4;/;3;4查看分类表>
申请人	深圳富泰宏精密工业有限公司	申请人地址	广东省深圳市宝安区龙华镇富士康科技工业园F3区A栋变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	深圳富泰宏精密工业有限公司	当前权利人	深圳富泰宏精密工业有限公司
发明人	姜传华;黄义均;潘海波;李旭;陈甲林
代理机构	暂无	代理人	暂无

摘要

本发明关于一种分流器，应用于真空溅镀设备，其包括机体和设于机体的金属罩。该机体开设抽气口，该金属罩将该抽气口罩住。该金属罩开设若干通孔让气体通过。该金属罩上间隔设置若干挡板，这些挡板遮挡部分所述通孔，以调整进入抽气口的气体。上述分流器通过在带孔的金属罩上间隔设置挡板，从而调整气流的均匀分布，有效扩大了镀膜有效区域，方便一次对多个工件进行镀膜。

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