反应腔室及具有它的等离子体设备

发明专利无效专利

申请号：
CN201310029533.8
IPC分类号：--
申请日期：
2013-01-25
申请人：
北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司

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法律信息

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著录项信息

专利名称	反应腔室及具有它的等离子体设备
申请号	CN201310029533.8	申请日期	2013-01-25
法律状态	驳回	申报国家	中国
公开/公告日	2014-08-06	公开/公告号	CN103972012A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司	申请人地址	北京市北京经济技术开发区文昌大道8号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司	当前权利人	北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
发明人	杨玉杰;吕铀
代理机构	北京清亦华知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	宋合成;黄德海

摘要

本发明公开了一种反应腔室及具有它的等离子体设备，反应腔室包括：腔体，腔体内具有反应腔；诱导环形件，诱导环形件设在反应腔内，用于减弱反应腔中心处的磁场强度且增强反应腔外周缘处的磁场强度。根据本发明的反应腔室，反应腔室内具有诱导环形件，诱导环形件可以通过改变反应腔内的磁场强度而降低反应腔中心处等离子体密度，增加反应腔边缘的等离子体密度，从而降低反应腔边缘与中心区域等离子体密度差异，改善等离子体分布的均匀性，有利于晶圆或工件产品的开发。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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