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蒸镀坩埚及蒸镀设备

实用新型专利有效专利
  • 申请号:
    CN201620938485.3
  • IPC分类号:C23C14/24
  • 申请日期:
    2016-08-24
  • 申请人:
    京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司
著录项信息
专利名称蒸镀坩埚及蒸镀设备
申请号CN201620938485.3申请日期2016-08-24
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C14/24IPC分类号C;2;3;C;1;4;/;2;4查看分类表>
申请人京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司申请人地址
北京市朝阳区酒仙桥路10号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人京东方科技集团股份有限公司,鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司当前权利人京东方科技集团股份有限公司,鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司
发明人牛玉山;刘科雷
代理机构北京同达信恒知识产权代理有限公司代理人黄志华
摘要
本实用新型涉及蒸镀技术领域,公开了一种蒸镀坩埚及蒸镀设备。蒸镀坩埚包括坩埚本体和与坩埚本体连接的坩埚上盖,所述坩埚上盖包括上盖本体和与上盖本体连接的喷出部,所述喷出部的喷出口为狭缝形喷出口。在本实用新型实施例中,喷出部的喷出口为狭缝形喷出口,相比现有技术,无需额外设置喷嘴,进而在真空蒸镀过程中,坩埚本体内的热量可以较为顺畅地传递到狭缝形喷出口,狭缝形喷出口的温度较高,蒸镀材料较易从喷出口喷出,喷出口不易发生堵塞现象,因而蒸镀效果较好;此外,采用本实施例的蒸镀坩埚进行蒸镀时,可大大减少停止蒸镀产线对喷出口进行清理的情况,因而蒸镀产能可以得到显著提高。

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