一种激光制备微纳阵列结构的系统和方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201410583872.5
IPC分类号：B23K26/06
申请日期：
2014-10-27
申请人：
中国科学院理化技术研究所

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专利名称	一种激光制备微纳阵列结构的系统和方法
申请号	CN201410583872.5	申请日期	2014-10-27
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2015-03-25	公开/公告号	CN104439699A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B23K26/06 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B2 成型 B23 机床；其他类目中不包括的金属加工 B23K 钎焊或脱焊；焊接；用钎焊或焊接方法包覆或镀敷；局部加热切割，如火焰切割；用激光束加工（用金属的挤压来制造金属包覆产品入B21C 23/22；用铸造方法制造衬套或包覆层入B22D 19/08；用浸入方式的铸造入B22D 23/04；用烧结金属粉末制造复合层入B22F 7/00；机床上的仿形加工或控制装置入B23Q；不包含在其他类目中的包覆金属或金属包覆材料入C23C；燃烧器入F23D） B23K26/00 用激光束加工，例如焊接，切割或打孔〔2，3，2014.01〕 B23K26/02 工件的定位和观测，如相对于冲击点，激光束的对正，瞄准或聚焦〔3，2014.01〕 B23K26/06 激光束的成形，例如，利用掩膜或多次聚焦〔3，2014.01〕	IPC分类号	B;2;3;K;2;6;/;0;6查看分类表>
申请人	中国科学院理化技术研究所	申请人地址	北京市海淀区中关村东路29号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中国科学院理化技术研究所	当前权利人	中国科学院理化技术研究所
发明人	段宣明;赵圆圆;郑美玲;赵震声
代理机构	北京正理专利代理有限公司	代理人	张文祎

摘要

本发明公开一种新的利用激光制备微纳阵列结构的系统和方法。该方法包括：提供具有使待加工材料产生多光子吸收效应的波长的第一激光束；将高斯分布的第一激光束均匀化处理为能量分布均匀的第一平顶光束；用微透镜阵列组件将平顶光束分束为以阵列排列的多个激光束；将阵列排列的多个激光束分别聚焦于同一平面的光束聚焦组件；和对置于计算机控制的微移动台上的金属离子溶液进行扫描，得到数百个微纳尺度的周期性阵列结构，其中第一平顶光束的束斑面积等于或小于所述微透镜阵列组件的有效阵列面积。本发明能实现快速、批量、大规模制备结构一致的、尺寸可控的微纳阵列结构。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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