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紫外线照射装置

发明专利有效专利

申请号：
CN201010187036.7
IPC分类号：H01L21/00
申请日期：
2010-05-26
申请人：
日东电工株式会社

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	紫外线照射装置
申请号	CN201010187036.7	申请日期	2010-05-26
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2010-12-01	公开/公告号	CN101901745A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01L21/00 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G 9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中半导体器件的使用见该应用的小类）〔2〕 H01L21/00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备〔2，8〕	IPC分类号	H;0;1;L;2;1;/;0;0查看分类表>
申请人	日东电工株式会社	申请人地址	日本大阪府变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	日东电工株式会社	当前权利人	日东电工株式会社
发明人	山本雅之;入江胜
代理机构	北京林达刘知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	刘新宇;张会华

摘要

本发明涉及一种紫外线照射装置。在对载置保持在保持台上的带有保护带的晶圆表面照射紫外线之前，使照度传感器移动到与呈阵列状地配置有多个紫外线发光二极管的紫外线照射单元相对的测量位置，测量相当于保护带表面的位置的照度，调节各二极管的输出，使得根据该测量结果和保持台的转速求得的各二极管的紫外线照射位置的累计光量为恒定。

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