光酸发生剂以及包含该光酸发生剂的抗蚀剂组合物

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专利名称	光酸发生剂以及包含该光酸发生剂的抗蚀剂组合物
申请号	CN201310454693.7	申请日期	2013-09-29
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2014-04-16	公开/公告号	CN103728835A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	锦湖石油化学株式会社	申请人地址	韩国首尔变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	锦湖石油化学株式会社	当前权利人	锦湖石油化学株式会社
发明人	朱炫相;韩俊熙;裵昌完;金真湖;安浩益
代理机构	北京鸿元知识产权代理有限公司	代理人	姜虎;陈英俊

摘要

本发明涉及一种光酸发生剂以及包含该光酸发生剂的抗蚀剂组合物，其在抗蚀膜的形成过程中调节从曝光区域到非曝光区域的酸的扩散，从而能够减少非曝光表面和曝光表面上的线边缘粗糙度。[化学式1]所述化学式1中，各取代基如在说明书中所定义。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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