通过侧向视角成像来表征样本的高度轮廓

发明专利有效专利

申请号：
CN201810837841.6
IPC分类号：G01B11/24;G01B11/06
申请日期：
2018-07-26
申请人：
安东帕有限责任公司

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著录项信息

专利名称	通过侧向视角成像来表征样本的高度轮廓
申请号	CN201810837841.6	申请日期	2018-07-26
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2019-02-26	公开/公告号	CN109387157A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01B11/24 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01B 长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量 G01B11/00 以采用光学方法为特征的计量设备（G01B 9/00组中包括的各式仪器本身入G01B 9/00）〔2〕 G01B11/24 用于计量轮廓或曲率	IPC分类号	G;0;1;B;1;1;/;2;4;;;G;0;1;B;1;1;/;0;6查看分类表>
申请人	安东帕有限责任公司	申请人地址	奥地利格拉茨变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	安东帕有限责任公司	当前权利人	安东帕有限责任公司
发明人	马丁·戈代克-舍恩巴赫尔;阿尔贝托·戈麦斯-卡萨多;丹尼尔·科勒;马库斯·布兰德纳
代理机构	北京超凡志成知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	王晖;李丙林

摘要

一种扫描探针显微镜(1)，特别是原子力显微镜，用于通过使探针(11)和样本(6)相对于彼此移动来分析样本(6)，其中扫描探针显微镜(1)包括：检测单元(60)，该检测单元包括侧向视角相机(90)，该侧向视角相机被布置和配置为以基本水平的侧向视角来检测样本(6)的图像；以及确定单元(80)，该确定单元用于基于检测到的图像来确定指示样本(6)的表面的至少一部分的轮廓的信息。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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