空间移相菲索球面干涉仪

发明专利有效专利

申请号：
CN201110363171.7
IPC分类号：G01B9/023;G02B5/30;G02B1/10
申请日期：
2011-11-16
申请人：
中国科学院上海光学精密机械研究所

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著录项信息

专利名称	空间移相菲索球面干涉仪
申请号	CN201110363171.7	申请日期	2011-11-16
法律状态	暂无	申报国家	中国
公开/公告日	2012-04-04	公开/公告号	CN102401630A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01B9/023 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01B 长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量 G01B9/00 组中所列的及以采用光学测量方法为其特征的仪器（用于测量特定的参量的装置入G01B 11/00）〔2〕 G01B9/02 干涉仪 G01B9/021 用全息照相技术的〔2〕 G01B9/023 用于得出轮廓（G01B 9/025至G01B 9/029优先）〔2〕	IPC分类号	G;0;1;B;9;/;0;2;3;;;G;0;2;B;5;/;3;0;;;G;0;2;B;1;/;1;0查看分类表>
申请人	中国科学院上海光学精密机械研究所	申请人地址	北京市大兴区北京经济技术开发区景园北街2号52幢6层601-10室变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	北京国望光学科技有限公司	当前权利人	北京国望光学科技有限公司
发明人	刘龙海;方瑞芳;陈贝特;熊超;徐傲;曾爱军;黄惠杰
代理机构	上海新天专利代理有限公司	代理人	张泽纯

摘要

一种空间移相菲索球面干涉仪，特点是在标准镜的入射面上镀有双折射薄膜，而且该标准镜的入射面为平面，出射面为球面，在第一分束器的反射光路上，设有第二分束器、第二准直透镜、达曼光栅、检偏器阵列、第二图像传感器和计算机，在所述的第二分束器的反射光方向设有第一图像传感器，以方便待测球面的调节，所述的计算机便于图像数据处理，本发明在可以实现对球面被测元件的面形测量。该空间移相菲索球面干涉仪可以获得具有一定移相量的多幅移相干涉图像。该空间移相菲索球面干涉仪采用圆偏振参考光和测量光，减小准直透镜和标准镜的残余双折射的影响。移相光路中不再使用四分之一波片，提高面形的测量精度。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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