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利用压电致动的振荡结构、投射MEMS系统

实用新型专利无效专利
  • 申请号:
    CN201720285939.6
  • IPC分类号:G02B26/08
  • 申请日期:
    2017-03-22
  • 申请人:
    意法半导体股份有限公司
著录项信息
专利名称利用压电致动的振荡结构、投射MEMS系统
申请号CN201720285939.6申请日期2017-03-22
法律状态放弃专利权申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G02B26/08IPC分类号G;0;2;B;2;6;/;0;8查看分类表>
申请人意法半导体股份有限公司申请人地址
意大利阿格拉布里安扎 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人意法半导体股份有限公司当前权利人意法半导体股份有限公司
发明人R·卡尔米纳蒂;M·默利;S·康蒂
代理机构北京市金杜律师事务所代理人王茂华
摘要
公开了利用压电致动的振荡结构、投射MEMS系统。该振荡结构(30)包括:第一扭转弹性元件(56)和第二扭转弹性元件(58),该第一扭转弹性元件和该第二扭转弹性元件被限制到固定的支撑体(40)的对应部分并且限定旋转轴(O);移动元件(55,57,60),该移动元件被设置在该第一与第二扭转弹性元件(56,58)之间并连接到该第一和第二扭转弹性元件,由于该第一和第二可变形元件的扭转,该移动元件可围绕该旋转轴(O)旋转;以及第一控制区域(66),该第一控制区域耦合到该移动元件(55,57,60)并且容纳第一压电致动器(70),该第一压电致动器被配置成用于在使用中引起该第一控制区域(66)的局部变形,该局部变形生成该第一和第二扭转弹性元件(56,58)的扭转。

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