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一种磁控蒸发多功能卷绕镀膜机

实用新型专利有效专利
  • 申请号:
    CN201621179519.1
  • IPC分类号:C23C14/56
  • 申请日期:
    2016-10-27
  • 申请人:
    无锡光润真空科技有限公司
著录项信息
专利名称一种磁控蒸发多功能卷绕镀膜机
申请号CN201621179519.1申请日期2016-10-27
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C14/56IPC分类号C;2;3;C;1;4;/;5;6查看分类表>
申请人无锡光润真空科技有限公司申请人地址
江苏省无锡市新吴区中关村软件园1号楼203-84室 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人无锡光润真空科技有限公司当前权利人无锡光润真空科技有限公司
发明人陈自新;郑立冬;朱海锋;李伟
代理机构无锡华源专利商标事务所(普通合伙)代理人孙力坚;聂启新
摘要
本实用新型涉及一种磁控蒸发多功能卷绕镀膜机,包括真空腔室,在所述真空腔室的两端设置用于维持所述真空腔室内高真空环境的真空抽气系统,在所述真空腔室的底部通过法兰与蒸发组件连接,在所述真空腔室的内部还设置带有柔性卷绕基材的卷绕镀膜工作系统;利用本实用新型中的平面靶可以单独进行磁控镀膜、利用本实用新型中的蒸发组件可以单独进行蒸发镀膜,同时本实用新型也可以同时进行磁控镀膜及蒸发镀膜,由此避免以往为了实现不同镀膜方法而更换镀膜机器,导致未镀膜完成的膜层暴露在空气中造成的影响涂层结合力及成份的问题。

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