一种单晶热场梯度附加调节系统

实用新型专利有效专利

申请号：
CN201621181375.3
IPC分类号：C30B15/20;C30B29/06
申请日期：
2016-11-03
申请人：
保山新澳泰能源有限公司

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著录项信息

专利名称	一种单晶热场梯度附加调节系统
申请号	CN201621181375.3	申请日期	2016-11-03
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C30B15/20 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C30 晶体生长〔3〕 C30B 单晶生长（用超高压的，例如用于金刚石形成的入B01J 3/06）；共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层；材料的区熔精炼（金属或合金的区熔精炼入C22B）；具有一定结构的均匀多晶材料的制备（金属铸造，按同样工艺或装置的其他物质铸造入B22D；塑料的加工入B29；改变金属或合金的物理结构入C21D、C22F）；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理（用于半导体器件或元件生产的入H01L）；其所用的装置〔3〕 C30B15/00 熔融液提拉法的单晶生长，例如Czochralski法（在保护流体下的入C30B 27/00）〔3〕 C30B15/20 控制或调节（一般的控制或调节入G05）〔3〕	IPC分类号	C;3;0;B;1;5;/;2;0;;;C;3;0;B;2;9;/;0;6查看分类表>
申请人	保山新澳泰能源有限公司	申请人地址	云南省昆明市昌宁县体育场南侧园区管委会二楼变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	保山新澳泰能源有限公司	当前权利人	保山新澳泰能源有限公司
发明人	卜庆宝
代理机构	北京汇捷知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	李宏伟

摘要

本实用新型公开了一种单晶热场梯度附加调节系统，该系统设置在单晶炉的上盖板处，且环绕内导流筒设置，该系统由多个环状部件组成，包括第一部件、第二部件、第三部件、第四部件和第五部件，第一部件、第二部件和第三部件自上而下依次设置成调温部分，调温部分相对于内导流筒呈160‑180°夹角，调温部分的外侧设有保温部分，保温部分由第四部件和第五部件自内往外在水平方向上叠加而成，单晶热场的上部热场梯度的适应性调节以保证热场梯度的平滑过渡,并使晶棒本身在要求的温度区域的有合适的温度梯度以控制晶棒在某一温度区域的冷却速度，同时可以对兼顾对气体的整流。

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