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快速反应的微机械装置

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN200610130974.7
  • IPC分类号:G02B26/08
  • 申请日期:
    2006-11-30
  • 申请人:
    视频有限公司
著录项信息
专利名称快速反应的微机械装置
申请号CN200610130974.7申请日期2006-11-30
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2007-09-05公开/公告号CN101029965
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G02B26/08IPC分类号G;0;2;B;2;6;/;0;8查看分类表>
申请人视频有限公司申请人地址
美国加利福尼亚 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人视频有限公司当前权利人视频有限公司
发明人李契京;古春泰;胡行奎;晓和·X·潘
代理机构中国国际贸易促进委员会专利商标事务所代理人张浩
摘要
一种空间光调制器,包括镜板,该镜板包括反射上表面,具有导电表面部分的下表面,和具有第一空腔、第二空腔以及在第二空腔上的膜的基板部分,该第一空腔在下表面上具有开口,该第二空腔在基板部分中。该调制器包括基板,该基板包括上表面,与上表面连接的枢纽支撑柱,由枢纽支撑柱支撑并与镜板相连以方便镜板旋转的枢纽组件,以及与基板的上表面连接的竖立着陆端。枢纽组件延伸到第一空腔中。竖立着陆端配置为接触镜板的基板部分内的第二空腔上方的膜以便镜在预定的方向上停止镜板的旋转。

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