一种硅片倒角工艺中冷却液喷嘴调整装置

实用新型专利有效专利

申请号：
CN201920643502.4
IPC分类号：B24B9/06;B24B37/02;B24B41/06;B24B55/02
申请日期：
2019-05-07
申请人：
麦斯克电子材料有限公司

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著录项信息

专利名称	一种硅片倒角工艺中冷却液喷嘴调整装置
申请号	CN201920643502.4	申请日期	2019-05-07
法律状态	暂无	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B24B9/06 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B2 成型 B24 磨削；抛光 B24B 用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F 3/00）；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给 B24B9/00 适用于磨削工件边缘或斜面或去毛刺的机床或装置；其附件（B24B 21/00优先；用于刃磨刀具切削刃的入B24B 3/00；用散粒磨料去毛刺入B24B 31/00） B24B9/02 以被磨制品材料性质为特征专门设计的 B24B9/06 非金属无机材料的，如石头，陶瓷制品，瓷器	IPC分类号	B;2;4;B;9;/;0;6;;;B;2;4;B;3;7;/;0;2;;;B;2;4;B;4;1;/;0;6;;;B;2;4;B;5;5;/;0;2查看分类表>
申请人	麦斯克电子材料有限公司	申请人地址	河南省洛阳市高新技术产业开发区滨河北路99号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	麦斯克电子材料股份有限公司	当前权利人	麦斯克电子材料股份有限公司
发明人	王海君;董开纪;李鲁;乔光辉
代理机构	洛阳公信知识产权事务所（普通合伙）	代理人	王学鹏

摘要

本实用新型提供了一种硅片倒角工艺中冷却液喷嘴调整装置，包括安装托盘、安装支架和喷嘴，安装托盘包括连接杆和两个托盘片，托盘片之间还预留供吸盘通过的安装间隙，安装托盘上预留有滑动轨道，滑动轨道设置于托盘片上，吸盘下方机体上预留供螺栓Ⅰ连接的螺纹孔Ⅰ，安装托盘还连有安装支架；安装支架包括第一调整板、连接板和第二调整板，连接板上还预留供喷嘴通过的安装口，第一调整板和第二调整板还分别设置于连接板的两侧，第一连接板和第二连接板上均预留调整通孔，第一连接板通过螺栓Ⅱ连接于安装托盘，第二连接板还连接有喷嘴。本实用新型能够保证倒角机在更换加工硅片尺寸后磨削时冷却效果，避免表面烧伤和碎片。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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