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构造成布置在立式炉的反应器内的喷射器以及立式炉

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN202110399703.6
  • IPC分类号:H01L21/67
  • 申请日期:
    2021-04-14
  • 申请人:
    ASMIP私人控股有限公司
著录项信息
专利名称构造成布置在立式炉的反应器内的喷射器以及立式炉
申请号CN202110399703.6申请日期2021-04-14
法律状态公开申报国家中国
公开/公告日2021-10-22公开/公告号CN113539887A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/67IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;6;7查看分类表>
申请人ASMIP私人控股有限公司申请人地址
荷兰阿尔梅勒 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人ASMIP私人控股有限公司当前权利人ASMIP私人控股有限公司
发明人C.G.M.德里德
代理机构北京市柳沈律师事务所代理人焦玉恒
摘要
提供了一种喷射器,其构造成布置在立式炉的反应器内,以在反应器中喷射气体。该喷射器被制成基本细长的,并且构造成具有内部气体传导通道,以将气体从喷射器的第一端部输送到喷射器的第二端部。喷射器的外侧壁可以在喷射器长度的至少10%优选30%且最优选50%上朝向第二端部逐渐变细,以增加用于将喷射器安装在管中的公差。

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