一种三维表面非接触干涉测量仪

实用新型专利有效专利

申请号：
CN201820021522.3
IPC分类号：G01B11/24
申请日期：
2018-01-04
申请人：
广东普密斯视觉技术有限公司

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著录项信息

专利名称	一种三维表面非接触干涉测量仪
申请号	CN201820021522.3	申请日期	2018-01-04
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01B11/24 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01B 长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量 G01B11/00 以采用光学方法为特征的计量设备（G01B 9/00组中包括的各式仪器本身入G01B 9/00）〔2〕 G01B11/24 用于计量轮廓或曲率	IPC分类号	G;0;1;B;1;1;/;2;4查看分类表>
申请人	广东普密斯视觉技术有限公司	申请人地址	广东省东莞市松山湖高新技术产业开发区南山路1号中集智谷15号楼01户1层变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	广东普密斯视觉技术有限公司	当前权利人	广东普密斯视觉技术有限公司
发明人	周峰;谭晓军;邝文辉;杜勇刚;邓崇凯
代理机构	东莞市华南专利商标事务所有限公司	代理人	刘克宽

摘要

本实用新型涉及光学制造技术领域，尤其是指一种三维表面非接触干涉测量仪，包括激光器、空间滤波器、准直镜、第一反射镜、分光镜、第二反射镜、成像镜头、CCD相机、第三反射镜和待测物放置台，所述激光器、空间滤波器、准直镜和第一反射镜同设于水平光轴线L1；所述第一反射镜、分光镜和待测物放置台同设于垂直光轴线L2；所述第二反射镜、分光镜和第三反射镜同设于水平光轴线L3；所述第二反射镜、成像镜头和CCD相机同设于垂直光轴线L4。本实用新型组件少，体积小，操作方便。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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