一种大口径反射镜组件的面形检验方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201611029649.1
IPC分类号：G01M11/02;G01B11/24
申请日期：
2016-11-14
申请人：
北京空间机电研究所

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著录项信息

专利名称	一种大口径反射镜组件的面形检验方法
申请号	CN201611029649.1	申请日期	2016-11-14
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2017-04-26	公开/公告号	CN106596057A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01M11/02 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01M 机器或结构部件的静或动平衡的测试；其他类目中不包括的结构部件或设备的测试 G01M11/00 光学设备的测试；其他类目未包括的用光学方法测试结构部件 G01M11/02 光学性质的测试	IPC分类号	G;0;1;M;1;1;/;0;2;;;G;0;1;B;1;1;/;2;4查看分类表>
申请人	北京空间机电研究所	申请人地址	北京市丰台区南大红门路1号9201信箱5分箱变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	北京空间机电研究所	当前权利人	北京空间机电研究所
发明人	周于鸣;焦文春;王向东;刘志远;王春雨;黄阳;阴刚华;卢浩;宋俊儒;李斌
代理机构	中国航天科技专利中心	代理人	张丽娜

摘要

本发明涉及一种大口径反射镜组件的面形检验方法，属于光学精密测量技术领域。反射镜组件中的反射镜镜面朝上，用干涉仪测量反射镜组件中反射镜的面形数据W0(m×n)，反射镜组件中的反射镜镜面朝下，用干涉仪测量反射镜组件中反射镜的面形数据W180(i×j)；将W0(m×n)和步W180(i×j)进行面形数据矩阵归一化处理，得到F0(a×b)＝Wa×b+G0(a×b)+Ka×b和F180(a×b)＝Wa×b+G180(a×b)+Ka×b，将归一化处理后的面形数据F0(a×b)和F180(a×b)进行图像叠加，消除重力变形，得到反射镜零重力面形数据F＝(F0(a×b)+F180(a×b))/2＝Wa×b+Ka×b，如果F与Wa×b的差值Ka×b的均方根值不大于0.003λ(λ＝632.8nm)，认为反射镜组件的装配符合要求，如果F与Wa×b的差值Ka×b的均方根值大于0.003λ，认为反射镜组件的装配不符合要求，需重新对反射镜组件重新进行装配。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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