加载中...
首页专利查询专利详情

*来源于国家知识产权局数据,仅供参考,实际以国家知识产权局展示为准

基板处理装置以及基板搬运方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN202010823740.0
  • IPC分类号:H01L21/683;H01L21/677
  • 申请日期:
    2020-08-17
  • 申请人:
    株式会社斯库林集团
著录项信息
专利名称基板处理装置以及基板搬运方法
申请号CN202010823740.0申请日期2020-08-17
法律状态实质审查申报国家中国
公开/公告日2021-03-23公开/公告号CN112542417A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/683IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;6;8;3;;;H;0;1;L;2;1;/;6;7;7查看分类表>
申请人株式会社斯库林集团申请人地址
日本京都府 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人株式会社斯库林集团当前权利人株式会社斯库林集团
发明人高山祐一;中泽和彦;蒲裕充;森冈利仁;佐藤卓也;菊本宪幸
代理机构隆天知识产权代理有限公司代理人宋晓宝;向勇
摘要
本发明的目的在于提供一种能够合适地搬运基板的基板处理装置以及基板搬运方法。本发明涉及一种基板处理装置(1)以及基板搬运方法。手部(61)具有基座部(65)、吸引部(68)、第一接受部(82)、第二接受部(83)以及接受部驱动部(86)。吸引部(68)安装于基座部(65)。吸引部使气体沿基板(W)的上表面(16)流动,以不与基板接触的方式将基板向上方吸引。第一接受部以及第二接受部被基座部支撑。第一接受部以及第二接受部配置在被吸引部吸引的基板的下方。第一接受部以及第二接受部能够接受基板的下表面。接受部驱动部使第二接受部相对于基座部移动。接受部驱动部使第二接受部接近第一接受部,并且使第二接受部与第一接受部远离。

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供