烘干装置、涂敷膜形成装置以及烘干方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201510551275.9
IPC分类号：H01M4/04;H01M4/139
申请日期：
2015-09-01
申请人：
株式会社思可林集团

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著录项信息

专利名称	烘干装置、涂敷膜形成装置以及烘干方法
申请号	CN201510551275.9	申请日期	2015-09-01
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2016-03-30	公开/公告号	CN105449157A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01M4/04 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01M 用于直接转变化学能为电能的方法或装置，例如电池组〔2〕（一般电化学的方法或装置入C25；用于转变光或热为电能的半导体或其他固态器件入H01L，例如H01L 31/00，H01L 35/00，H01L 37/00）〔2〕 H01M4/00 电极〔2〕 H01M4/02 由活性材料组成或包括活性材料的电极〔2〕 H01M4/04 一般制造方法〔2〕	IPC分类号	H;0;1;M;4;/;0;4;;;H;0;1;M;4;/;1;3;9查看分类表>
申请人	株式会社思可林集团	申请人地址	日本国京都府京都市变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	株式会社思可林集团	当前权利人	株式会社思可林集团
发明人	陆井秀晃;山越润一
代理机构	隆天知识产权代理有限公司	代理人	董雅会;向勇

摘要

本发明提供一种烘干装置、涂敷膜形成装置以及烘干方法，能够一边限制需要的温度计的数量，一边高精度地判断烘干炉内的温度是否达到目标温度。该烘干装置具有向烘干炉的内部供给热风的热风供给机构、从烘干炉的内部排出气体的排气机构。另外，排气机构具有：从设于烘干炉内的多个排气口延伸至烘干炉的外部的排气管道；测量排气管道内的气体的温度的排气温度计。因此，基于排气温度计的测量值，能够高精度地判断烘干炉内的温度是否达到目标温度。当开始进行烘干处理时，在排气温度计的测量值达到预先设定的基准值之后，开始运送基材。由此，能够减少基材的烘干不良。

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