首页专利查询专利详情

*来源于国家知识产权局数据,仅供参考,实际以国家知识产权局展示为准

末端执行器及基板搬送机器人

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201480074387.3
  • IPC分类号:H01L21/677B25J15/08
  • 申请日期:
    2014-06-27
  • 申请人:
    川崎重工业株式会社
著录项信息
专利名称末端执行器及基板搬送机器人
申请号CN201480074387.3申请日期2014-06-27
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2016-11-09公开/公告号CN106104785A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/677IPC分类号H01L21/677;B25J15/08查看分类表>
申请人川崎重工业株式会社申请人地址
日本*** 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人川崎重工业株式会社当前权利人川崎重工业株式会社
发明人桥本康彦;福岛崇行;金丸亮介;木下真也;宮川大辉
代理机构北京律盟知识产权代理有限责任公司代理人张世俊
摘要
本发明涉及一种末端执行器及基板搬送机器人。本发明的末端执行器(700)包括:机器手基部(701),至少一部分进入至收容在基板收容部的多片基板中的最下段的基板的下方或最上段的基板的上方;基板保持器件(702),设置在机器手基部(701),且用以支撑包含最下段的基板或最上段的基板的两片以上的基板;以及突出量变更器件(703),用以变更基板保持器件(702)从包含与最下段的基板或最上段的基板对向的机器手基部(701)的表面的基准面的突出量。突出量变更器件(703)具有对基板保持器件(702)的整体赋予驱动力的单一的驱动源(706)。

在售专利  早买早用

热售中更多>

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供