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用于制造氮化镓晶片的方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201180008490.4
  • IPC分类号:H01L21/20
  • 申请日期:
    2011-01-28
  • 申请人:
    LG矽得荣株式会社
著录项信息
专利名称用于制造氮化镓晶片的方法
申请号CN201180008490.4申请日期2011-01-28
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2012-10-24公开/公告号CN102754188A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/20IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;2;0查看分类表>
申请人LG矽得荣株式会社申请人地址
韩国庆尚北道 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人LG矽得荣株式会社当前权利人LG矽得荣株式会社
发明人金容进;李东健;金杜洙;李浩准;李启珍
代理机构北京派特恩知识产权代理有限公司代理人张颖玲;孟桂超
摘要
本发明提供了一种用于制造氮化镓(GaN)晶片的方法。在根据实施方式的用于制造GaN晶片的方法中,在衬底上形成蚀刻阻挡层,且在所述蚀刻阻挡层上形成第一GaN层。使用硅烷气体蚀刻所述第一GaN层的一部分,且在所述蚀刻的第一GaN层上形成第二GaN层。在所述第二GaN层上形成第三GaN层。

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