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一种高Al含量的c-CrAlSiN硬质涂层及其制备方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201910584333.6
  • IPC分类号:C23C14/06;C23C14/35
  • 申请日期:
    2019-06-28
  • 申请人:
    广州大学
著录项信息
专利名称一种高Al含量的c-CrAlSiN硬质涂层及其制备方法
申请号CN201910584333.6申请日期2019-06-28
法律状态实质审查申报国家中国
公开/公告日2019-09-20公开/公告号CN110257771A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C14/06IPC分类号C;2;3;C;1;4;/;0;6;;;C;2;3;C;1;4;/;3;5查看分类表>
申请人广州大学申请人地址
广东省广州市番禺广州大学城外环西路230号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人广州大学当前权利人广州大学
发明人荣铭聪
代理机构广州三环专利商标代理有限公司代理人颜希文;宋静娜
摘要
本发明提供一种高铝含量的c‑CrAlSiN硬质涂层及其制备方法。本发明高铝含量的c‑CrAlSiN硬质涂层为单相立方结构,无纤锌矿型AlN析出,能通过使用直流磁控溅射Cr靶材,使用高功率脉冲磁控溅射AlSi靶材,共溅射沉积制得;或者通过使用直流磁控溅射CrSi靶材,使用高功率脉冲磁控溅射Al靶材,共溅射沉积制得,其中AlSi靶材和CrSi靶材中Si含量为0<Si含量≤40at.%,这不仅极大地提升了c‑CrAlSiN硬质涂层中(Al+Si)/(Al+Cr+Si)的原子数比值,最高可达到0.68,还解决了当前Si掺杂CrAlSiN纳米复合涂层中软质纤锌矿型AlN易析出的难点问题。

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