一种微尺度飞行时间质谱仪

发明专利有效专利

申请号：
CN201910653904.7
IPC分类号：B81B7/02;H01J49/40;H01J49/04
申请日期：
2019-07-19
申请人：
北京卫星环境工程研究所

基础信息

权利要求

说明书

PDF全文

法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种微尺度飞行时间质谱仪
申请号	CN201910653904.7	申请日期	2019-07-19
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2019-10-18	公开/公告号	CN110342455A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B81B7/02 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B8 微观结构技术；纳米技术 B81 微观结构技术〔7〕 B81B 微观结构的装置或系统，例如微观机械装置（压电元件、电致伸缩元件或磁致伸缩元件本身入H01L41/00）〔7〕 B81B7/00 微观结构系统〔7，2006.01〕 B81B7/02 包括功能上有特定关系的不同的电或光学装置，例如微电子—机械系统（MEMS）（B81B7/04优先）〔7，2006.01〕	IPC分类号	B;8;1;B;7;/;0;2;;;H;0;1;J;4;9;/;4;0;;;H;0;1;J;4;9;/;0;4查看分类表>
申请人	北京卫星环境工程研究所	申请人地址	北京市西城区友谊路104号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	北京卫星环境工程研究所	当前权利人	北京卫星环境工程研究所
发明人	孙立臣;窦仁超;孟冬辉;闫荣鑫;洪晓鹏;崔寓淏;韩琰;喻新发;周雪茜;窦威;李征
代理机构	暂无	代理人	暂无

摘要

本发明公开了一种微尺度飞行时间质谱仪，包括依次连接的气体进样装置、质谱仪芯片和真空装置，所述气体进样装置包括毛细导管、微阀和流量计，所述质谱仪芯片内部包括离子源、离子传输电极组、加速区、无场漂移区、反射器和检测器，所述真空装置包括小型隔膜泵、小型涡轮分子泵、连接管路、阀门和真空机，本发明同时通过进样系统的控制，可实现将待测气体以直接进样方式进入离子源的目的；通过离子在无场漂移区的飞行、离子反射器的作用，实现不同离子到达检测器时间不同的区分；通过控制器和外接电源对各电极电压的控制，可实现不同质量范围的气体质谱分析，其应用价值和气体分析能力得到了大大的提高。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供