一种切割晶圆用的线锯机

实用新型专利有效专利

申请号：
CN201921108480.8
IPC分类号：B28D5/04;B28D7/00;B28D7/02
申请日期：
2019-07-15
申请人：
成都汉芯国科集成技术有限公司

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著录项信息

专利名称	一种切割晶圆用的线锯机
申请号	CN201921108480.8	申请日期	2019-07-15
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B28D5/04 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B2 成型 B28 加工水泥、黏土或石料 B28D 加工石头或类似石头的材料（采矿或采石用的机械或方法入E21C） B28D5/00 宝石、宝石饰物、结晶体的精细加工，例如半导体材料的精加工；所用设备（磨削或抛光加工入B24；用于艺术目的加工入B44B；用非机械方法的入C04B 41/00；单晶的非机械方法后处理入C30B 33/00）〔3〕 B28D5/04 用非旋转式工具的，例如往复式工具	IPC分类号	B;2;8;D;5;/;0;4;;;B;2;8;D;7;/;0;0;;;B;2;8;D;7;/;0;2查看分类表>
申请人	成都汉芯国科集成技术有限公司	申请人地址	四川省成都市高新区(西区)合作路89号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	成都汉芯国科集成技术有限公司	当前权利人	成都汉芯国科集成技术有限公司
发明人	刘召满
代理机构	成都弘毅天承知识产权代理有限公司	代理人	白小明

摘要

本实用新型公开了一种切割晶圆用的线锯机，包括工作台，所述工作台中部设置有锯条，所述工作台下部设置有机座，所述机座一侧设置有吸尘机，所述吸尘机一侧通过集尘管与集尘箱连通，所述吸尘机另一侧与上吸尘管的一端连接，所述上吸尘管的另一端与吸尘盒连通，所述上吸尘管为软管，所述吸尘盒上部设置有吸尘口，位于所述吸尘口一侧的吸尘盒上设置有自动推杆，所述自动推杆与刮杆固定连接，所述吸尘盒下部设置有气缸推杆。通过设置自动推杆和刮杆，可以将工作台上的废屑集中到一起，便于对废屑的清理，使工作台保持干净。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

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