一种电容器用锌铝复合金属化薄膜蒸镀机

发明专利有效专利

申请号：
CN202011017813.3
IPC分类号：C23C14/24;C23C14/08;C23C14/20;H01G13/00;C23C14/56
申请日期：
2020-09-24
申请人：
刘加彬

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法律信息

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著录项信息

专利名称	一种电容器用锌铝复合金属化薄膜蒸镀机
申请号	CN202011017813.3	申请日期	2020-09-24
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2020-12-01	公开/公告号	CN112011766A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C23C14/24 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕 C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆（挤压法制造包覆金属的产品入B21C23/22；通过将预先存在的薄层连接到制品上的方法用金属进行镀覆处理的见各有关位置，例如B21D39/00，B23K；玻璃的金属化入C03C；砂浆、混凝土、人造石、陶瓷或天然石的金属化入C04B41/00；金属的搪瓷或向金属上镀覆玻璃体层入c23D；用电解法或电泳法处理金属表面或镀覆金属入C25D；单晶膜生长入C30B；纺织品的金属化入D06M11/83；用局部金属化法装饰纺织品入D06Q1/04）〔4〕 C23C14/00 通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆〔4，2006.01〕 C23C14/22 以镀覆工艺为特征的〔4〕 C23C14/24 真空蒸发〔4〕	IPC分类号	C;2;3;C;1;4;/;2;4;;;C;2;3;C;1;4;/;0;8;;;C;2;3;C;1;4;/;2;0;;;H;0;1;G;1;3;/;0;0;;;C;2;3;C;1;4;/;5;6查看分类表>
申请人	刘加彬	申请人地址	吉林省长春市南关区幸福街道东岭西委38组变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	刘加彬	当前权利人	刘加彬
发明人	刘加彬
代理机构	江门市博盈知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	何办君

摘要

本发明公开了一种电容器用锌铝复合金属化薄膜蒸镀机，包括真空室，所述真空室内设有冷却主鼓机构、放卷机构及收卷机构，所述冷却主鼓机构与放卷机构、收卷机构之间均设有导辊，所述冷却主鼓机构位于所述放卷机构与收卷机构之间的下方，所述冷却主鼓机构下方设有锌蒸发源，所述锌蒸发源的两侧分别设有第一铝蒸发源与第二铝蒸发源，所述第二铝蒸发源的上方设有第二蒸镀挡板，所述第二铝蒸发源和第二蒸镀挡板之间设有喷氧气机构。本发明能有效保证金属化薄膜的蒸镀纯度，蒸镀的金属化薄膜镀层均匀，第二铝蒸发源蒸发的铝蒸汽与喷氧气机构喷出的氧气反应，形成AL2O3均匀地镀到薄膜上，有效保护金属镀层，同时提高薄膜的耐压强度。

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