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用于制备多硅烷的方法和装置

发明专利无效专利

申请号：
CN201480023106.1
IPC分类号：B01J12/00;C01B33/04;C07F7/02
申请日期：
2014-02-28
申请人：
赢创德固赛有限公司

基础信息

权利要求

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	用于制备多硅烷的方法和装置
申请号	CN201480023106.1	申请日期	2014-02-28
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2015-12-02	公开/公告号	CN105120999A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B01J12/00 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B0 分离；混合 B01 一般的物理或化学的方法或装置 B01J 化学或物理方法，例如，催化作用或胶体化学；其有关设备〔2〕 B01J12/00 用于使气体介质与气体介质反应的一般化学方法；其专用设备（B01J 3/08，B01J 8/00，B01J 19/08优先）〔3〕	IPC分类号	B;0;1;J;1;2;/;0;0;;;C;0;1;B;3;3;/;0;4;;;C;0;7;F;7;/;0;2查看分类表>
申请人	赢创德固赛有限公司	申请人地址	德国埃森变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	赢创德固赛有限公司	当前权利人	赢创德固赛有限公司
发明人	J.E.朗;H.劳莱德;E.米
代理机构	中国专利代理（香港）有限公司	代理人	邵长准;石克虎

摘要

本发明涉及通过在氢气存在下在等离子体中将甲硅烷转化用于制备多硅烷的方法和涉及用于进行所述方法的设备。

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